海寧蠕動(dòng)泵軟管生產(chǎn)廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-11-17 01:41:10
海寧蠕動(dòng)泵軟管生產(chǎn)廠家
高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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蠕動(dòng)泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，關(guān)于傳輸液體的變化量。同一種液體的變化量可以用兩方面的因素來概括，一，傳輸液體溫度的變化量，由于軟管是一種彈性的塑膠體，不同的溫度，會(huì)使它的彈性發(fā)生變化，一般來說，溫度越高，軟管的彈性越差；第二，傳輸液體夜位的變化（即蠕動(dòng)泵吸程的變化），由于蠕動(dòng)泵是靠軟管自身彈性來吸取液體的，所以吸程的變化對(duì)蠕動(dòng)泵的流速影響較大（蠕動(dòng)泵的揚(yáng)程對(duì)流量幾乎沒有影響），因?yàn)槲烫幩a(chǎn)生的阻力會(huì)直接抵消軟管回彈的能力，影響回彈腔體的大小。
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蠕動(dòng)泵的工作原理1）蠕動(dòng)泵泵頭分為轉(zhuǎn)子和泵殼，泵管置于轉(zhuǎn)子與泵殼之間的管床上，其作用是將泵管鎖閉。2）轉(zhuǎn)子上的輥?zhàn)右来文脒^泵管，裝管中的流體擠壓出去。輥?zhàn)幽脒^后的泵管恢復(fù)原形、形成真空，再將后面的流體抽吸進(jìn)來。3）在輥?zhàn)又g形成的一個(gè)流體“枕”。其形狀大小與泵管內(nèi)徑與轉(zhuǎn)子的幾何形狀有關(guān)。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變，除非流體粘度太大。
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蠕動(dòng)泵出現(xiàn)屏幕有顯示，不工作的情況，1. 首先如果您的泵通過PLC控制，建議先拆下連接泵與PLC的外控模塊，使用蠕動(dòng)泵本機(jī)控制。2.請(qǐng)檢查本機(jī)控制是否正常，如果是顯示器的按鍵失靈，需要更換控制面膜。3.如果您使用的是分配型蠕動(dòng)泵（如WT600-1F等），請(qǐng)檢查泵的設(shè)置參數(shù)，超出流量范圍容易造成液體溢出。4.請(qǐng)檢查蠕動(dòng)泵頭轉(zhuǎn)輪的運(yùn)轉(zhuǎn)是否靈活，必要時(shí)需要更換新的泵頭。 5.請(qǐng)檢查連接泵頭與驅(qū)動(dòng)器的聯(lián)軸節(jié)是否存在控制異常，必要時(shí)更換聯(lián)軸節(jié)解決問題。
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蠕動(dòng)泵液體靠壓輪正向推移實(shí)現(xiàn)流體輸送，蠕動(dòng)泵屬于容積泵，基于軟管交替壓縮原理(1)被輸送的液體只在膠管里流動(dòng)與泵的其它零件不相接觸避免了液體受泵體污染的可能。(2)膠管材質(zhì)采用耐酸的硅橡膠，且易清洗消，毒和濕熱滅，菌，可達(dá)到醫(yī)學(xué)領(lǐng)域使用的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的要求。(3)蠕動(dòng)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。當(dāng)灌封液體換批“大清”時(shí) 只要更換膠管即可實(shí)現(xiàn)無需進(jìn)行任何泵內(nèi)消，毒滅，菌操作，是制藥行業(yè)用來泵送無菌液體的理想設(shè)備。(4)蠕動(dòng)泵結(jié)構(gòu)不采用底閥，而由系統(tǒng)完全自吸，故不必?fù)?dān)心產(chǎn)生氣阻現(xiàn)象，解決了其它結(jié)構(gòu)灌裝瞬間的產(chǎn)生泡沫問題。
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影響蠕動(dòng)泵壓力的因素。首先，壓管的間隙是影響蠕動(dòng)泵的因素之一，這個(gè)不難理解，同樣壁厚和材質(zhì)的泵管，被壓的程度大壓管間隙就小，壓力就會(huì)增加，反之則減小。例如帶調(diào)節(jié)旋鈕的YZm泵頭，就是通過旋轉(zhuǎn)壓力調(diào)節(jié)旋鈕，壓力就會(huì)隨之改變。其次，用蠕動(dòng)泵串聯(lián)的方式并不能加壓，因?yàn)閴毫κ芟抻诒霉艿某惺苣芰?，并不是能夠通過串聯(lián)就可以實(shí)現(xiàn)更高的壓力的，后，軟管的材質(zhì)是影響壓力的另外一個(gè)因素，在壁厚和壓管間隙完全相同的情況下，硬度較大的泵管壓力會(huì)較大，而硬度低的則較小。主要是因?yàn)?，硬質(zhì)泵管在同樣壓力情況下變形小，容易保持密封性。