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漳州蠕動泵軟管型號

發(fā)布時間:2022-06-03 01:44:03
漳州蠕動泵軟管型號

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蠕動泵的工作原理1)蠕動泵泵頭分為轉子和泵殼,泵管置于轉子與泵殼之間的管床上,其作用是將泵管鎖閉。2)轉子上的輥子依次碾過泵管,裝管中的流體擠壓出去。輥子碾過后的泵管恢復原形、形成真空,再將后面的流體抽吸進來。3)在輥子之間形成的一個流體“枕”。其形狀大小與泵管內徑與轉子的幾何形狀有關。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變,除非流體粘度太大。

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高精密蠕動泵在半導體行業(yè)的應用。高精度蠕動泵非常適合半導體產業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內控制流量,保持過程的完整性。能實現漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學物質和去離子水的浪費。

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蠕動泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產生的,其次解釋第二方面的原因,泵頭的尺寸精度問題,同樣一根軟管,如果滾輪和圓弧間的間隙過小,或者間隙不均勻,都會造成軟管局部被過度擠壓,使軟管產生塑性的形變,導致軟管的彈性發(fā)生劇烈變化,從而影響傳輸的精度。不均勻的壓管,還會導致軟管壽命的顯著降低,從而增加蠕動泵的使用成本。想要提高蠕動泵的精度,就要選用較高品質的蠕動泵泵頭,排除泵頭尺寸的影響。

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蠕動泵使用伺服電機和步進電機精度對比。蠕動泵電機目前可以分為伺服電機和步進電機,但是伺服蠕動泵要比步進電機蠕動泵精度高很多。伺服電機和步進電機一樣都是電機走一圈,脈沖數越大每一步的角度就越小精度就越高,而伺服電機軸后端如果是17位編碼器的話,那么驅動器每接收131072個脈沖信號電機才轉一圈,也就是它走一下,僅移動了0.0027°,那么它步進角為1.8°步進電機的655倍,而大部分步進電機只能設置到25000個脈沖, 所以說伺服電機的精度是步進電機無法比的,同時伺服電機是閉環(huán)控制,有效的反饋也保證了電機的準確性。

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蠕動泵的工作原理是靠擠壓彈性泵管來輸送液體的,由于其密封的特性,泵的出口處會產生一定的壓力。在實際生產環(huán)境中,用戶可能會對壓力調整有一定需求,這里創(chuàng)銳就和大家分享一下,影響壓力的因素。首先,壓管的間隙是影響蠕動泵的因素之一,這個不難理解,同樣壁厚和材質的泵管,被壓的程度大壓管間隙就小,壓力就會增加,反之則減小。例如帶調節(jié)旋鈕的YZm泵頭,就是通過旋轉壓力調節(jié)旋鈕,壓力就會隨之改變。其次,用蠕動泵串聯的方式并不能加壓,因為壓力受限于泵管的承受能力,并不是能夠通過串聯就可以實現更高的壓力的。

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