貴州流量型蠕動(dòng)泵生產(chǎn)廠家
發(fā)布時(shí)間：2024-01-30 01:28:59
貴州流量型蠕動(dòng)泵生產(chǎn)廠家
高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過(guò)程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過(guò)變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過(guò)程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過(guò)控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無(wú)創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒(méi)有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過(guò)穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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蠕動(dòng)泵的優(yōu)點(diǎn)1、液體僅接觸軟管，不接觸泵體，方便清洗，更換軟管方便；2、低能耗：有自吸、單向閥能力；3、傳輸好：分裝精度可達(dá)到1%～0.5%；4、低剪切：可泵送剪切液體及溶劑，可輸送含固流體；5、密封性好：具有良好的自吸能力，可空轉(zhuǎn)，可防止回流；6、易維護(hù)：快速插接,無(wú)閥門(mén)和密封件，軟管是易損件；7、具有雙向同等流量輸送能力；8、無(wú)液體空運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不會(huì)對(duì)泵有影響；9、沒(méi)有閥、機(jī)械密封和填料密封裝置，也就沒(méi)有這些產(chǎn)生泄露和維護(hù)的因素；10、能輕松的輸送液提或氣液混合相流體。
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蠕動(dòng)泵的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：1、蠕動(dòng)泵具有截止閥功能，沒(méi)有單向止回閥，沒(méi)有密封件，不會(huì)產(chǎn)生阻塞或磨損問(wèn)題。2、液體只經(jīng)過(guò)蠕動(dòng)泵軟管，沒(méi)有死角，非常潔凈衛(wèi)生。3、蠕動(dòng)泵更換軟管簡(jiǎn)單，易于維護(hù)，不需要專業(yè)維護(hù)工人，軟管達(dá)到使用壽命后普通操作工人就可以更換。蠕動(dòng)泵軟管的使用壽命可以參考蠕動(dòng)泵軟管的對(duì)比壽命表。從泵送精度方面說(shuō)屬于計(jì)量泵、恒流泵；從結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)是軟管泵；從原理來(lái)說(shuō)是蠕動(dòng)泵。但蠕動(dòng)泵在行業(yè)內(nèi)通常是指出口壓力較低，流量較小的泵。軟管泵在行業(yè)內(nèi)是指出口壓力較大，流量較大的泵。
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蠕動(dòng)泵的精度問(wèn)題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，其次解釋第二方面的原因，泵頭的尺寸精度問(wèn)題，同樣一根軟管，如果滾輪和圓弧間的間隙過(guò)小，或者間隙不均勻，都會(huì)造成軟管局部被過(guò)度擠壓，使軟管產(chǎn)生塑性的形變，導(dǎo)致軟管的彈性發(fā)生劇烈變化，從而影響傳輸?shù)木?。不均勻的壓管，還會(huì)導(dǎo)致軟管壽命的顯著降低，從而增加蠕動(dòng)泵的使用成本。想要提高蠕動(dòng)泵的精度，就要選用較高品質(zhì)的蠕動(dòng)泵泵頭，排除泵頭尺寸的影響。
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蠕動(dòng)泵傳輸流體是有脈動(dòng)的，是一股一股傳輸流體的。對(duì)于這種脈動(dòng)很明顯的流體傳輸情況，常規(guī)的流量計(jì)是無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量的。想要準(zhǔn)確測(cè)量蠕動(dòng)泵的流速，就必須使用容積類型的流量計(jì)，而這種流量計(jì)只能適應(yīng)一部分的流體傳輸，對(duì)于有顆粒的流體是無(wú)法測(cè)量的。容積類的流量計(jì)對(duì)于液體的傳輸是有壓力要求的，達(dá)不到一定的壓力，液體無(wú)法通過(guò)容積類的流量計(jì)，并且這種類型的流量計(jì)價(jià)格往往比較昂貴。所以目前市面上的流量型蠕動(dòng)泵均為開(kāi)環(huán)形式的產(chǎn)品，即流量型蠕動(dòng)泵顯示的流速數(shù)值是通過(guò)計(jì)算得來(lái)的，并不是實(shí)際傳輸流體的流速。