合肥流量型蠕動泵廠家
發(fā)布時間：2023-11-07 01:28:56
合肥流量型蠕動泵廠家
高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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蠕動泵的工作原理1）蠕動泵泵頭分為轉(zhuǎn)子和泵殼，泵管置于轉(zhuǎn)子與泵殼之間的管床上，其作用是將泵管鎖閉。2）轉(zhuǎn)子上的輥?zhàn)右来文脒^泵管，裝管中的流體擠壓出去。輥?zhàn)幽脒^后的泵管恢復(fù)原形、形成真空，再將后面的流體抽吸進(jìn)來。3）在輥?zhàn)又g形成的一個流體“枕”。其形狀大小與泵管內(nèi)徑與轉(zhuǎn)子的幾何形狀有關(guān)。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變，除非流體粘度太大。
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蠕動泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，一方面的原因，軟管自身的彈性特性又是由兩個方面決定的，一方面是材料的問題，另一方面是軟管尺寸的問題，關(guān)于軟管材料的問題此處不再做詳細(xì)說明，詳情參見“蠕動泵軟管的種類及選型”。關(guān)于軟管尺寸的問題是很好理解的，在壁厚相同的情況下，軟管的內(nèi)徑越大，彈性越差，反之則越好；在內(nèi)徑相同的情況下，軟管的壁厚越厚，彈性越好，反之則越差。所以在精度要求高的場合，要選用合適尺寸的軟管來盡可能減小因此產(chǎn)生的誤差。
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蠕動泵傳輸液體是一股一股傳輸?shù)?，如果每一股之間的量是相等的，那么不論是灌裝或者連續(xù)傳輸都可以得到非常準(zhǔn)確的結(jié)果。這一股液體的體積是蠕動泵兩個滾輪之間軟管腔體的體積，這個腔體的形成有兩個因素：一，需要兩個滾輪擠壓截止，第二，需要軟管自身具有彈性，軟管在運(yùn)行過程中彈性是會發(fā)生變化的，所以這個腔體的體積也會發(fā)生變化，就產(chǎn)生了傳輸精度的問題。一根新管，橫截面是圓形的，當(dāng)在蠕動泵上被擠壓幾分鐘后，軟管的截面積就會變成橢圓形狀，這個變化時間是很短的。
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那么蠕動泵的流量有什么規(guī)律可循嗎，答案是肯定的，蠕動泵的流量和轉(zhuǎn)速成正比，比如，測得100轉(zhuǎn)時的流量為100mL/min，那么可以推測200轉(zhuǎn)時的流量就是200mL/min，300轉(zhuǎn)就是300mL/min，以此類推。這就是為什么蠕動泵流量范圍大的泵價格往往越高，因?yàn)橥粋€泵頭，轉(zhuǎn)速越大，流量越大，所需要的驅(qū)動能力就越大，各方面的硬件成本也就越高。蠕動泵的流量是蠕動泵較重要的參數(shù)，是選型首要的先決條件，只有在流量滿足用戶的需求后，才會考慮其他方面是不是合適。
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蠕動泵在小體積流體分配和計量方面具有極好的可重復(fù)性。無閥門機(jī)型除了流體常見的阻塞及虹吸現(xiàn)象。分體式泵系統(tǒng)可使同一個泵具有多種用途。實(shí)驗(yàn)室研發(fā)過程中常見的應(yīng)用場合有：細(xì)胞組織輸送、標(biāo)本脫色、灌注、液體色譜分析、以及酸性或堿性溶液輸送。無污染和無腐蝕的泵管類型極受歡迎。符合USP VI級要求的泵管可承受高溫消，毒處理。有多種驅(qū)動器供選擇，以用于于多種泵送場合。如：在媒質(zhì)發(fā)酵過程中泵送營養(yǎng)劑或pH值調(diào)整劑；分配化妝液等。