東莞流量型蠕動泵廠商
發(fā)布時(shí)間:2023-11-02 01:29:10東莞流量型蠕動泵廠商
高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
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蠕動泵硅膠管采用硅膠原料,經(jīng)過鉑金硫化處理,經(jīng)嚴(yán)格的規(guī)范生產(chǎn)。配套蠕動泵使用,確保流量準(zhǔn)確可靠,保證穩(wěn)定的較佳使用性能。蠕動泵專用硅膠管的優(yōu)點(diǎn):抗撕裂性能、拉伸性優(yōu)異、回彈性抗疲勞性能優(yōu)異;泵管按嚴(yán)格的公差要求生產(chǎn),確保泵管尺寸符合工藝要求;泵管透明度高,內(nèi)壁光滑,潔凈度高;可以輸送大多數(shù)有機(jī)溶劑,耐受30%濃度以內(nèi)的酸堿;抗老化、抗氧化、低透氣性;可以輸送較高粘度的液體;具有高介電常數(shù);具有醫(yī)療三類認(rèn)證,符合GMP和食品級要求,可以用環(huán)氧乙烷(ETO)或滅,菌鍋高溫消,毒。
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在蠕動泵中,管子或軟管是一個(gè)濕部件,幾乎無需維護(hù),也沒有需要替換的昂貴的密封,沒有會發(fā)生堵塞的止回閥,也沒有會發(fā)生磨損的轉(zhuǎn)子或定子。當(dāng)然,軟管或管子需要定期更換。即便如此,在軟管疲勞失效前,工業(yè)級蠕動泵可實(shí)現(xiàn)數(shù)千小時(shí)的可靠運(yùn)轉(zhuǎn)。而更換軟管的過程花費(fèi)的時(shí)間還不到1小時(shí),某些情況下只需要幾分鐘。此外,無需任何特殊工具,軟管就可以快速換好。蠕動泵不需要安裝輔助設(shè)備。隔膜泵需要背壓閥和排氣閥來保證內(nèi)部止回閥的正確運(yùn)轉(zhuǎn)。單螺桿泵通常需要雙機(jī)械密封、沖洗系統(tǒng)、干運(yùn)轉(zhuǎn)保護(hù)和內(nèi)置止回閥。而使用蠕動泵,這些輔助元件的成本都可以免除了。
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蠕動泵的工作原理1)蠕動泵泵頭分為轉(zhuǎn)子和泵殼,泵管置于轉(zhuǎn)子與泵殼之間的管床上,其作用是將泵管鎖閉。2)轉(zhuǎn)子上的輥?zhàn)右来文脒^泵管,裝管中的流體擠壓出去。輥?zhàn)幽脒^后的泵管恢復(fù)原形、形成真空,再將后面的流體抽吸進(jìn)來。3)在輥?zhàn)又g形成的一個(gè)流體“枕”。其形狀大小與泵管內(nèi)徑與轉(zhuǎn)子的幾何形狀有關(guān)。流速則取決于該枕形流體的速度與尺寸的乘積。此枕形可保持基本不變,除非流體粘度太大。
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蠕動泵就是在兩個(gè)轉(zhuǎn)輥?zhàn)又g的一段泵管形成“枕”形流體?!罢怼钡捏w積取決于泵管的內(nèi)徑和轉(zhuǎn)子的幾何特征。在工業(yè)行業(yè)中,涉及到滴膠滴漆的行業(yè),一般都是使用蠕動泵進(jìn)行傳輸,這是為什么呢,一般因?yàn)橐韵?點(diǎn)原因1、膠液或者絕緣漆如果接觸轉(zhuǎn)輪的話,容易污染機(jī)器,不容易維護(hù)清洗。2、一般的泵輸送是不好控制膠液或者絕緣漆的傳輸,涂抹容易不均勻。蠕動泵的傳輸只用到了泵管,可以連續(xù)精準(zhǔn)的將流體傳輸?shù)街付ㄎ恢茫栽诤险茩C(jī),滴漆裝置上才會有蠕動泵活躍的身影。
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蠕動泵的驅(qū)動器應(yīng)該如何選擇?驅(qū)動器是蠕動泵的重要組成部分,所以在選擇時(shí)要詳細(xì)了解蠕動泵驅(qū)動器的核心內(nèi)容。變速驅(qū)動器:尤其是需要更大流量調(diào)節(jié)范圍的應(yīng)用程序,請考慮變速驅(qū)動器。在正確的時(shí)間抽運(yùn)正確的流量需要一定的技術(shù)。變速驅(qū)動器通??梢栽谳^低速度和較高速度之間進(jìn)行無級變速。固定速度驅(qū)動:指較簡單的流體傳輸方法。蠕動泵系統(tǒng)在整個(gè)運(yùn)行期間可以始終保持一定的運(yùn)行速度,在某些情況下,還可以通過更換蠕動泵管道尺寸來更改流量。電動機(jī)速度、減速比和百分比速度調(diào)節(jié)是選擇蠕動泵驅(qū)動器時(shí)要考慮的三個(gè)關(guān)鍵因素。