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鎮(zhèn)江蠕動泵軟管價格

發(fā)布時間:2023-09-27 01:30:02
鎮(zhèn)江蠕動泵軟管價格

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高精密蠕動泵在半導體行業(yè)的應用。高精度蠕動泵非常適合半導體產業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內控制流量,保持過程的完整性。能實現漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學物質和去離子水的浪費。

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新型蠕動泵在泵軸末端采用了一個凸輪軸和一個轉子。這種設計在實現更長的軟管壽命上是徹底的,因為每轉只壓縮軟管一次。由于滾輪是在軟管上滾動,當壓縮軟管時對軟管施加的應力要少得多,而且產生的熱量非常少。這種類型的滾動蠕動泵確實也需要甘油來進行輕微潤滑,但是需要的甘油量比其他類型的蠕動泵少很多。例如,80mm滑靴式蠕動泵需要的甘油量為35升,而80mm滾動蠕動泵僅需要8升。甘油消耗量的減少提高了滾動蠕動泵的總體性價比。

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蠕動泵的工作原理是靠擠壓彈性泵管來輸送液體的,由于其密封的特性,泵的出口處會產生一定的壓力。在實際生產環(huán)境中,用戶可能會對壓力調整有一定需求,這里創(chuàng)銳就和大家分享一下,影響壓力的因素。首先,壓管的間隙是影響蠕動泵的因素之一,這個不難理解,同樣壁厚和材質的泵管,被壓的程度大壓管間隙就小,壓力就會增加,反之則減小。例如帶調節(jié)旋鈕的YZm泵頭,就是通過旋轉壓力調節(jié)旋鈕,壓力就會隨之改變。其次,用蠕動泵串聯的方式并不能加壓,因為壓力受限于泵管的承受能力,并不是能夠通過串聯就可以實現更高的壓力的。

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那么蠕動泵的流量有什么規(guī)律可循嗎,答案是肯定的,蠕動泵的流量和轉速成正比,比如,測得100轉時的流量為100mL/min,那么可以推測200轉時的流量就是200mL/min,300轉就是300mL/min,以此類推。這就是為什么蠕動泵流量范圍大的泵價格往往越高,因為同一個泵頭,轉速越大,流量越大,所需要的驅動能力就越大,各方面的硬件成本也就越高。蠕動泵的流量是蠕動泵較重要的參數,是選型首要的先決條件,只有在流量滿足用戶的需求后,才會考慮其他方面是不是合適。

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