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西安蠕動泵供應

發(fā)布時間:2023-07-07 01:32:14
西安蠕動泵供應

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高精密蠕動泵在半導體行業(yè)的應用。高精度蠕動泵非常適合半導體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現(xiàn)這些目標。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學物質(zhì)和去離子水的浪費。

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在蠕動泵中,管子或軟管是一個濕部件,幾乎無需維護,也沒有需要替換的昂貴的密封,沒有會發(fā)生堵塞的止回閥,也沒有會發(fā)生磨損的轉(zhuǎn)子或定子。當然,軟管或管子需要定期更換。即便如此,在軟管疲勞失效前,工業(yè)級蠕動泵可實現(xiàn)數(shù)千小時的可靠運轉(zhuǎn)。而更換軟管的過程花費的時間還不到1小時,某些情況下只需要幾分鐘。此外,無需任何特殊工具,軟管就可以快速換好。蠕動泵不需要安裝輔助設備。隔膜泵需要背壓閥和排氣閥來保證內(nèi)部止回閥的正確運轉(zhuǎn)。單螺桿泵通常需要雙機械密封、沖洗系統(tǒng)、干運轉(zhuǎn)保護和內(nèi)置止回閥。而使用蠕動泵,這些輔助元件的成本都可以免除了。

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泵不吸水的情況,有些用戶遇到過,有些沒有。為了方便大家對蠕動泵的使用,今天就為大家介紹下這個知識。情況一:吸程處軟管口吸住了裝有液體的容器底或者容器壁(尤其是液體分裝的時候),解決辦法:在軟管的吸程處安裝沉頭。情況二:軟管部位是否有漏氣地方,解決辦法:對整個軟管進行檢查,如果有,則進行更換。情況三:蠕動泵吸程處軟管有堵塞的情況,解決辦法:清理堵塞物即可。情況四:使用了壁厚不標準的軟管,造成蠕動泵工作部位不能緊密壓合軟管,導致軟管漏氣,解決辦法:更換標準尺寸的軟管。

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新型蠕動泵在泵軸末端采用了一個凸輪軸和一個轉(zhuǎn)子。這種設計在實現(xiàn)更長的軟管壽命上是徹底的,因為每轉(zhuǎn)只壓縮軟管一次。由于滾輪是在軟管上滾動,當壓縮軟管時對軟管施加的應力要少得多,而且產(chǎn)生的熱量非常少。這種類型的滾動蠕動泵確實也需要甘油來進行輕微潤滑,但是需要的甘油量比其他類型的蠕動泵少很多。例如,80mm滑靴式蠕動泵需要的甘油量為35升,而80mm滾動蠕動泵僅需要8升。甘油消耗量的減少提高了滾動蠕動泵的總體性價比。

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