江西蠕動泵型號
發(fā)布時間：2023-06-18 01:32:52
江西蠕動泵型號
蠕動泵軟管是蠕動泵的重要部件之一，而較終用戶卻經(jīng)常錯選管材，致使其不適于所需應(yīng)用場合。有些用戶甚至用普通管道來代替蠕動泵軟管，以致造成災(zāi)難性后果。隨著市場上蠕動泵軟管種類的日益增多，也使泵管挑選難度增大。蠕動泵因其無污染泵送特性及所需較少維護而日趨普及。然而，當(dāng)設(shè)計或購買蠕動泵系統(tǒng)時，不少工程師卻常會忽略一個重要的部件----蠕動泵泵管。管材須與需泵送流體具有化學(xué)相容性，才能具有良好的泵送性能及性能。隨著市場上管材的日益增多----有些蠕動泵機型的可用管材多達15種----所以用戶總能找到一種合適的管材與特定流體具有化學(xué)相容性。
江西蠕動泵型號
新型蠕動泵在泵軸末端采用了一個凸輪軸和一個轉(zhuǎn)子。這種設(shè)計在實現(xiàn)更長的軟管壽命上是徹底的，因為每轉(zhuǎn)只壓縮軟管一次。由于滾輪是在軟管上滾動，當(dāng)壓縮軟管時對軟管施加的應(yīng)力要少得多，而且產(chǎn)生的熱量非常少。這種類型的滾動蠕動泵確實也需要甘油來進行輕微潤滑，但是需要的甘油量比其他類型的蠕動泵少很多。例如，80mm滑靴式蠕動泵需要的甘油量為35升，而80mm滾動蠕動泵僅需要8升。甘油消耗量的減少提高了滾動蠕動泵的總體性價比。
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蠕動泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的，一方面的原因，軟管自身的彈性特性又是由兩個方面決定的，一方面是材料的問題，另一方面是軟管尺寸的問題，關(guān)于軟管材料的問題此處不再做詳細說明，詳情參見“蠕動泵軟管的種類及選型”。關(guān)于軟管尺寸的問題是很好理解的，在壁厚相同的情況下，軟管的內(nèi)徑越大，彈性越差，反之則越好；在內(nèi)徑相同的情況下，軟管的壁厚越厚，彈性越好，反之則越差。所以在精度要求高的場合，要選用合適尺寸的軟管來盡可能減小因此產(chǎn)生的誤差。
江西蠕動泵型號
高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP，它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，通過變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布，有助于實現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
江西蠕動泵型號
轉(zhuǎn)子蠕動泵在轉(zhuǎn)動臂末端使用了兩個或多個轉(zhuǎn)子。這種轉(zhuǎn)子蠕動泵的性能更好，因為在軟管壓縮過程中引起的破壞作用較小，而且產(chǎn)生的熱量也更少。轉(zhuǎn)子蠕動泵的軟管所承受的應(yīng)力更小，產(chǎn)生的熱量更少，壽命通常比靴式蠕動泵適度延長。該泵的缺點是轉(zhuǎn)子的直徑小。由于轉(zhuǎn)子的直徑小，轉(zhuǎn)子蠕動泵只能采用低性能水平的小軸承。在尺寸較大的泵上采用直徑較小的轉(zhuǎn)子，因此轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動過程中受到的阻力較大，容易出現(xiàn)停轉(zhuǎn)問題。