哈爾濱流量型蠕動泵廠家
發(fā)布時間:2023-04-04 01:37:41哈爾濱流量型蠕動泵廠家
高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復(fù)性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費。
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蠕動泵的優(yōu)點1、液體僅接觸軟管,不接觸泵體,方便清洗,更換軟管方便;2、低能耗:有自吸、單向閥能力;3、傳輸好:分裝精度可達(dá)到1%~0.5%;4、低剪切:可泵送剪切液體及溶劑,可輸送含固流體;5、密封性好:具有良好的自吸能力,可空轉(zhuǎn),可防止回流;6、易維護(hù):快速插接,無閥門和密封件,軟管是易損件;7、具有雙向同等流量輸送能力;8、無液體空運轉(zhuǎn)情況下不會對泵有影響;9、沒有閥、機(jī)械密封和填料密封裝置,也就沒有這些產(chǎn)生泄露和維護(hù)的因素;10、能輕松的輸送液提或氣液混合相流體。
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恒流泵從字面上理解就是流速恒定的泵類產(chǎn)品。恒流泵并不是一個具體的產(chǎn)品,而是所有流速恒定的泵類產(chǎn)品的統(tǒng)稱,所以恒流泵是一類產(chǎn)品,而蠕動泵是恒流泵的一種,流速能保持恒定的泵類產(chǎn)品很多,如柱塞泵、齒輪泵等都可以保證一個恒定的流速,這些泵類產(chǎn)品都可以歸為恒流泵。如果把蠕動泵比作蘋果,那么恒流泵就是水果。由此可見,蠕動泵是一個特定的產(chǎn)品,而恒流泵則是一類產(chǎn)品的通稱。所以在購買恒流泵之前要確定需要哪種工作類型的泵類產(chǎn)品。應(yīng)用范圍、流量范圍、工作壓力、需要傳輸?shù)囊后w都是需要考慮的因素。
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蠕動泵是怎么產(chǎn)生壓力的?它主要是靠滾輪擠壓軟管的方式來吸取和推動流體傳輸,但要保持一定的密封性,才會產(chǎn)生一定的壓力。它的壓力是靠壓管間隙來決定的,壓力的大小取決于壓管壓的松緊,壓管越松,壓力就會越小,軟管的壽命會越長,松到不密封的時候就完全沒有壓力了;相反,壓管越緊,壓力會越大,緊到一定程度的時候就會對軟管產(chǎn)生比較大的疲勞磨損,軟管壽命也因此越短。而且同一個廠家生產(chǎn)的軟管,也會有±0.1mm的誤差,這0.1mm的誤差足以使蠕動泵壓力產(chǎn)生很大的壓差,也就是說在壓管間隙一定的情況下,軟管不同,壓力就會不同。
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蠕動泵的優(yōu)點列表:1.除泵管以外,流體不與泵的任何部件接觸。2.無接縫,流體無處可滲漏。3.無須閥門。4.自灌能力(某些機(jī)型的抽吸壓頭達(dá)到30 英尺(8.8 米)5.可泵送液體、氣體、固體、或多相混合體。6.從入口到出口可采用一條完整的泵管。7.有些泵管材質(zhì)可承受高溫消,毒過程。8.用完后易清洗,節(jié)省了時間,除了雜物或細(xì),菌聚集之所。9.快速更換產(chǎn)品----只需更換泵管即可----避免交叉感染。10.可在任意位置使用(對方向不敏感)。11.流量調(diào)節(jié)范圍較大。12.有多種類型的泵管供選。13.有多種類型的驅(qū)動器/電機(jī)供選。14.易維修。15.不需太多備用部件。16.可應(yīng)用于多通道泵送場合。