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深圳蠕動(dòng)泵軟管廠家

發(fā)布時(shí)間:2023-03-19 01:38:01
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高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性,低剪切力對(duì)CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。

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蠕動(dòng)泵在小體積流體分配和計(jì)量方面具有極好的可重復(fù)性。無閥門機(jī)型除了流體常見的阻塞及虹吸現(xiàn)象。分體式泵系統(tǒng)可使同一個(gè)泵具有多種用途。實(shí)驗(yàn)室研發(fā)過程中常見的應(yīng)用場(chǎng)合有:細(xì)胞組織輸送、標(biāo)本脫色、灌注、液體色譜分析、以及酸性或堿性溶液輸送。無污染和無腐蝕的泵管類型極受歡迎。符合USP VI級(jí)要求的泵管可承受高溫消,毒處理。有多種驅(qū)動(dòng)器供選擇,以用于于多種泵送場(chǎng)合。如:在媒質(zhì)發(fā)酵過程中泵送營(yíng)養(yǎng)劑或pH值調(diào)整劑;分配化妝液等。

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蠕動(dòng)泵的精度問題全部都是圍繞軟管彈性的變化產(chǎn)生的,一方面的原因,軟管自身的彈性特性又是由兩個(gè)方面決定的,一方面是材料的問題,另一方面是軟管尺寸的問題,關(guān)于軟管材料的問題此處不再做詳細(xì)說明,詳情參見“蠕動(dòng)泵軟管的種類及選型”。關(guān)于軟管尺寸的問題是很好理解的,在壁厚相同的情況下,軟管的內(nèi)徑越大,彈性越差,反之則越好;在內(nèi)徑相同的情況下,軟管的壁厚越厚,彈性越好,反之則越差。所以在精度要求高的場(chǎng)合,要選用合適尺寸的軟管來盡可能減小因此產(chǎn)生的誤差。

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蠕動(dòng)泵傳輸流體是有脈動(dòng)的,是一股一股傳輸流體的。對(duì)于這種脈動(dòng)很明顯的流體傳輸情況,常規(guī)的流量計(jì)是無法準(zhǔn)確測(cè)量的。想要準(zhǔn)確測(cè)量蠕動(dòng)泵的流速,就必須使用容積類型的流量計(jì),而這種流量計(jì)只能適應(yīng)一部分的流體傳輸,對(duì)于有顆粒的流體是無法測(cè)量的。容積類的流量計(jì)對(duì)于液體的傳輸是有壓力要求的,達(dá)不到一定的壓力,液體無法通過容積類的流量計(jì),并且這種類型的流量計(jì)價(jià)格往往比較昂貴。所以目前市面上的流量型蠕動(dòng)泵均為開環(huán)形式的產(chǎn)品,即流量型蠕動(dòng)泵顯示的流速數(shù)值是通過計(jì)算得來的,并不是實(shí)際傳輸流體的流速。

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