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上海流量型蠕動泵供應(yīng)

發(fā)布時(shí)間:2023-02-23 01:39:30
上海流量型蠕動泵供應(yīng)

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高精密蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量,保持過程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動泵的無創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過穩(wěn)定的流體輸送,漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊,還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。

上海流量型蠕動泵供應(yīng)

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蠕動泵的優(yōu)點(diǎn)1、液體僅接觸軟管,不接觸泵體,方便清洗,更換軟管方便;2、低能耗:有自吸、單向閥能力;3、傳輸好:分裝精度可達(dá)到1%~0.5%;4、低剪切:可泵送剪切液體及溶劑,可輸送含固流體;5、密封性好:具有良好的自吸能力,可空轉(zhuǎn),可防止回流;6、易維護(hù):快速插接,無閥門和密封件,軟管是易損件;7、具有雙向同等流量輸送能力;8、無液體空運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不會對泵有影響;9、沒有閥、機(jī)械密封和填料密封裝置,也就沒有這些產(chǎn)生泄露和維護(hù)的因素;10、能輕松的輸送液提或氣液混合相流體。

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蠕動泵廠家標(biāo)出的流量范圍一般是在傳輸水的情況下測得的,沒有粘度。當(dāng)用戶在考慮蠕動泵的流量范圍是不是符合需求的時(shí)候,應(yīng)該首先確定自己傳輸?shù)囊后w是什么,有沒有粘度,因?yàn)檎扯鹊拇笮诤艽蟪潭壬嫌绊懭鋭颖玫牧髁?;其次要考慮傳輸時(shí)的溫度,溫度越高,軟管越軟,彈性越不好,流量也會有所衰減;第三,要考慮傳輸液體是不是有顆粒;后要考慮實(shí)際使用時(shí)用到的吸程大小,吸程過大的場合會在很大程度上影響流量的衰減。以上四點(diǎn)確定之后有經(jīng)驗(yàn)的蠕動泵工作人員會大致推測出流量的衰減比例,從而盡可能的推薦較大流量范圍的蠕動泵。

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蠕動泵是怎么產(chǎn)生壓力的?它主要是靠滾輪擠壓軟管的方式來吸取和推動流體傳輸,但要保持一定的密封性,才會產(chǎn)生一定的壓力。它的壓力是靠壓管間隙來決定的,壓力的大小取決于壓管壓的松緊,壓管越松,壓力就會越小,軟管的壽命會越長,松到不密封的時(shí)候就完全沒有壓力了;相反,壓管越緊,壓力會越大,緊到一定程度的時(shí)候就會對軟管產(chǎn)生比較大的疲勞磨損,軟管壽命也因此越短。而且同一個(gè)廠家生產(chǎn)的軟管,也會有±0.1mm的誤差,這0.1mm的誤差足以使蠕動泵壓力產(chǎn)生很大的壓差,也就是說在壓管間隙一定的情況下,軟管不同,壓力就會不同。

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